工艺说明：

   此化学配药系统（CDS）,用98%浓硫酸和55%氢氟酸作为原材料配给，分别通过槽罐车运送至各自储罐，储罐内衬聚四氟，通过酸提升泵至混酸罐进行配给，需要用DI水做稀释，由于配酸是放热反应，需冷冻水做循环冷却降温，配给完成通过提升泵至储罐。根据客户的使用情况通过磁力泵精确配送至生产产线。考虑到HF酸的特殊侵蚀性，所有配送管道使用GF生产的高纯进口PVDF管道加外套透明PVC管，在各个单元配置仪表和漏酸气探头。在卸酸、配酸、输送酸的各个阶段设置不同权限的操作单元。所有的操作在中控室隔离操作完成，严格贯彻EHS的政策指令。CDS核心配药系统的各个单元配置废气处理，废酸、废水处理单元，以及中控室配置EPS/UPS的电源数据保护。

工艺流程：